微量氣體流量計(jì)采用熱擴(kuò)散原理，熱擴(kuò)散技術(shù)是一種在苛刻條件下性能優(yōu)良、可靠性高的技術(shù)。其典型傳感元件包括兩個(gè)熱電阻(鉑RTD)，一個(gè)是速度傳感器，一個(gè)是自動(dòng)補(bǔ)償氣體溫度變化的溫度傳感器。當(dāng)兩個(gè)RTD被置于介質(zhì)中時(shí)，其中速度傳感器被加熱到環(huán)境溫度以上的一個(gè)恒定的溫度,另一個(gè)溫度傳感器用于感應(yīng)介質(zhì)溫度。流經(jīng)速度傳感器的氣體質(zhì)量流量是通過(guò)傳感元件的熱傳遞量來(lái)計(jì)算的。氣體流速增加，介質(zhì)帶走的熱量增多。使傳感器溫度隨之降低。為了保持溫度的恒定，則必須增加通過(guò)傳感器的工作電流，此增加的部分電流大小與介質(zhì)的流速成正比。
 

　　微量氣體流量計(jì)在計(jì)量過(guò)程中影響準(zhǔn)確性的因素。主要有以下幾個(gè)方面：
 

　　1、不合理的管道設(shè)計(jì)可能造成較大的計(jì)量誤差。兩條并聯(lián)的管道，當(dāng)主管網(wǎng)用氣時(shí)，分管網(wǎng)手動(dòng)閥關(guān)閉。儀器計(jì)量正常，當(dāng)分管網(wǎng)也用氣時(shí)，手動(dòng)閥打開，由于主管道的氣體由分管道分流一部分，會(huì)使主管道內(nèi)的氣壓下降，使得流量計(jì)表前的壓力小于表后的壓力，流量計(jì)反轉(zhuǎn)，流量計(jì)也累積流量，造成了雙倍計(jì)量。為避免這種情況必須在1號(hào)流量計(jì)前面安裝一個(gè)單向閥。
 

　　2、安裝方式正確有助于提高計(jì)量準(zhǔn)確性和延長(zhǎng)使用壽命。安裝到管道上時(shí)，應(yīng)保證儀器表體上的螺紋孔和管道法蘭的螺孔對(duì)準(zhǔn)，保證法蘭的平行度，避免儀器承受其他外力，防止表體受力變形，使儀器卡死。開啟時(shí)，應(yīng)先打開前閥門，然后緩慢打開后閥門，使流量計(jì)有壓?jiǎn)?dòng)，避免由于氣錘效應(yīng)，氣體把流量計(jì)轉(zhuǎn)子沖擊變形，造成流量計(jì)卡死。
 

　　3、高壓計(jì)量低壓用氣。就是將計(jì)量室安裝到高壓管道上，然后通過(guò)調(diào)壓器調(diào)壓，用氣戶在低壓管道上用氣，當(dāng)?shù)蛪汗艿赖挠脷鈶粲脷饬坎淮髸r(shí)，根據(jù)氣體狀態(tài)方程，在溫度相差不多時(shí)，低壓管道的小流量反算到高壓管道流量會(huì)更小，甚至這個(gè)流量達(dá)不到流量計(jì)的始動(dòng)流量。流量計(jì)不計(jì)數(shù)。所以會(huì)引起較大的計(jì)量誤差。